Traceerbare metrologie van zachte röntgenstraling naar IR optische constanten en nanofilms voor geavanceerde fabricage (20IND04 ATMOC)
Projecten
Traceerbare metrologie van zachte röntgenstraling naar IR optische constanten en nanofilms voor geavanceerde fabricage (20IND04 ATMOC)
De optische en halfgeleiderindustrieën gebruiken innovatieve materialen en complexe nanostructuren in hun producten waarvan de optische eigenschappen moeilijk te meten en vaak niet nauwkeurig bekend zijn. Dit project ontwikkelt geavanceerde wiskundige methoden om deze materialen traceerbaar te karakteriseren voor golflengtebereiken van zachte röntgenstraling tot IR. Dit zal worden bereikt door het creëren van een database van optische constanten met bijbehorende onzekerheden voor bulkmaterialen en ultradunne-filmsystemen en industrieel relevante datasets. Deze database biedt relevante industrieën de mogelijkheid om simulaties uit te voeren en uiteindelijk nieuwe materialen met op maat gemaakte eigenschappen te ontwikkelen. De algemene doelstelling van het project is het ontwikkelen van traceerbare meettechnieken voor optische constanten van dunnefilmsystemen en nanostructuren en deze technieken te gebruiken ter ondersteuning van de introductie van een verbeterde database met optische eigenschappen voor industriële gebruikers.
Onze rol
VSL leidt het werkpakket dat zich richt op de traceerbaarheid van geavanceerde op fotonen gebaseerde metrologie. Het doel van dit werkpakket is het ontwikkelen van traceerbare reflectometers, Mueller-ellipsometers en scatterometers. Alle meettechnieken die nodig zijn om een betrouwbare bepaling van optische constanten in dunnefilmmaterialen te verkrijgen, inclusief monsters met complexe geometrieën, zullen in dit werkpakket worden ontwikkeld en gekarakteriseerd. VSL scatterometry-specialisten in lengte en optiekgroep werken aan de scatterometerkarakterisering en traceerbare metingen van de nanostructuren. Data Science and Modeling Group werkt aan geavanceerde inverse modellering en onzekerheidsevaluatie.
Startdatum: 1 juli 2021
Einddatum: 30 juni 2024
Lees hier meer over dit project.
“Het project heeft financiering ontvangen van het European Partnership on Metrology, medegefinancierd door het Horizon Europe Research and Innovation Program van de Europese Unie en van de deelnemende staten.”
Heeft u vragen?
Onze experts staan voor u klaar.
Lauryna Siaudinyte
Principal Scientist Length – Optics
Projecten
Onze expertise in de praktijk
Bekijk onze andere projecten.