Traceerbare metrologie van zachte röntgenstraling naar IR optische constanten en nanofilms voor geavanceerde fabricage (20IND04 ATMOC)
Projecten
Traceerbare metrologie van zachte röntgenstraling naar IR optische constanten en nanofilms voor geavanceerde fabricage (20IND04 ATMOC)
De optische en halfgeleiderindustrieën gebruiken innovatieve materialen en complexe nanostructuren in hun producten waarvan de optische eigenschappen moeilijk te meten en vaak niet nauwkeurig bekend zijn. Dit project ontwikkelt geavanceerde wiskundige methoden om deze materialen traceerbaar te karakteriseren voor golflengtebereiken van zachte röntgenstraling tot IR. Dit zal worden bereikt door het creëren van een database van optische constanten met bijbehorende onzekerheden voor bulkmaterialen en ultradunne-filmsystemen en industrieel relevante datasets. Deze database biedt relevante industrieën de mogelijkheid om simulaties uit te voeren en uiteindelijk nieuwe materialen met op maat gemaakte eigenschappen te ontwikkelen. De algemene doelstelling van het project is het ontwikkelen van traceerbare meettechnieken voor optische constanten van dunnefilmsystemen en nanostructuren en deze technieken te gebruiken ter ondersteuning van de introductie van een verbeterde database met optische eigenschappen voor industriële gebruikers.
Onze rol
VSL leidt het werkpakket dat zich richt op de traceerbaarheid van geavanceerde op fotonen gebaseerde metrologie. Het doel van dit werkpakket is het ontwikkelen van traceerbare reflectometers, Mueller-ellipsometers en scatterometers. Alle meettechnieken die nodig zijn om een betrouwbare bepaling van optische constanten in dunnefilmmaterialen te verkrijgen, inclusief monsters met complexe geometrieën, zullen in dit werkpakket worden ontwikkeld en gekarakteriseerd. VSL scatterometry-specialisten in lengte en optiekgroep werken aan de scatterometerkarakterisering en traceerbare metingen van de nanostructuren. Data Science and Modeling Group werkt aan geavanceerde inverse modellering en onzekerheidsevaluatie.
Startdatum: 1 juli 2021
Einddatum: 30 juni 2024
Lees hier meer over dit project.
“Het project heeft financiering ontvangen van het European Partnership on Metrology, medegefinancierd door het Horizon Europe Research and Innovation Program van de Europese Unie en van de deelnemende staten.”
Heeft u vragen?
Onze experts staan voor u klaar.
Lauryna Siaudinyte
Principal Scientist Length – Optics
Projecten
Onze expertise in de praktijk
Bekijk onze andere projecten.
Traceerbare machine vision-systemen voor digitale industriële toepassingen
MVS’en zijn van cruciaal belang voor veel hoogwaardige industrieën, waarin Europa wereldwijd concurrerend is, en voor de EU-doelstellingen op het gebied van digitale transformatie en van energietransitie.
Digitale metrologische tweelingen voor geavanceerde maakindustrie
Het ondersteunen van geavanceerde produktieprocessen met behulp van zogenaamde Digital Metrology Twins (D-MT’s), waarbij VSL vooral zal werken aan een digitale representatie van tactiele metingen op de CMM.
Virtuele experimenten en digitale tweelingen (ViDiT)
Virtuele experimenten en digitale tweelingen zijn sleuteltechnologieën om Europees strategisch beleid gericht op duurzaamheid en digitalisering te verwezenlijken en te realiseren binnen het complexe raamwerk van Industrie 4.0 en de Europese Green Deal.
Herleidbaarheid voor dosimetrie in röntgendiagnostistiek (TraMeXI)
De voornaamste doelen van het project zijn het voorstellen van nieuwe referentiestralingskwaliteiten in combinatie met classificatie van verschillende commercieel verkrijgbare dosimeters en x-ray multimaters (XMMs) wat zal leiden tot geharmoniseerde kalibratieprocedures XMMs en het realiseren van een traceerbaarheidsketen voor relevante klinische parameters, bijv: luchtkerma, practical peak voltage (PPV), current-time product (mAs), etc. Ter validatie zal een internationale vergelijking worden uitgevoerd.
Op weg naar een 8-digit digitizer (True8DIGIT)
Dit project richt zich op de ontwikkeling van een digitizer op basis van geavanceerde analoog-naar-digitaalomzetters (ADC’s), werkend van gelijkstroom (DC) tot 100 kHz, die voldoet aan de eisen voor lineariteit, ruis en algehele nauwkeurigheid.
Verplaatsbare optische klokken voor key comparisons (TOCK)
Het voorgestelde onderzoek zal een metrologische oplossing bieden om vergelijkingen mogelijk te maken van hoogwaardige klokken tussen alle Europese NMI’s, onderzoeksinstituten en serviceproviders die frequentienormen hanteren.
Metrologieondersteuning voor gebruik en opslag van koolstofafvang (MetCCUS)
Dit project zal zich richten op de ontwikkeling van de metrologische infrastructuur die nodig is voor het monitoren van CO2 die wordt geproduceerd en verloren gaat in een industrieel proces door de ontwikkeling van nieuwe traceerbare faciliteiten, waaronder primaire stroomstandaarden om kalibratie mogelijk te maken, evenals validatie van systemen die in staat zijn om CO2-lekken te kwantificeren van pijpleidingen, transport (bijv. scheepvaart) of opslaglocaties.
