Grenzen verleggen van nanodimensionale metrologie door licht (20FUN02 POLight)
Projecten
Grenzen verleggen van nanodimensionale metrologie door licht (20FUN02 POLight)
Innovatieve apparaten, zoals nanochips, geheugens met hoge capaciteit, nieuwe materialen en toekomstige point-of-care-tools zijn allemaal afhankelijk van het vermogen om materie op nanoschaal vorm te geven. Daarom heeft de Europese Commissie vier Key Enabling Technology (KET’s, d.w.z. nanotechnologie, micro-nano-elektronica, fotonica en geavanceerde materialen) geïdentificeerd als strategisch belangrijk voor de Europese Unie (EU). De snelle technologische vooruitgang van deze vier KET’s creëert momenteel echter een “metrologiekloof” in vergelijking met de vooruitgang bij het ontwikkelen van metrologiemethoden, wat cruciaal is voor het valideren van de ontwikkeling van KET’s. Dit project pakt dit probleem aan door nieuwe methoden te ontwikkelen om de metrologiekloof te overbruggen en op zijn beurt KET-innovatie te bevorderen. Meer specifiek zal dit project de grenzen van optische meetmethoden verleggen door een nieuwe generatie optische metrologiesystemen te realiseren, met ongekende prestaties op het gebied van ruimtelijke resolutie, traceerbaarheid, betrouwbaarheid en robuustheid. Het algemene doel van dit project is om de grenzen van optische meetmethoden te verleggen door een nieuwe generatie optische metrologiesystemen te realiseren, met ongekende prestaties op het gebied van ruimtelijke resolutie, traceerbaarheid, betrouwbaarheid en robuustheid.
Onze rol
In dit project leidt VSL een werkpakket dat zich richt op Far-field optische nanometrologie binnen het Rayleigh-regime. Scatterometry-specialisten ontwikkelen nauwkeurige methoden voor het meten van nanostructuren met behulp van far-field-verlichting, far-field-detectie optische methoden, zoals optische scatterometrie met gestructureerde verlichting, coherente Fourier-scatterometrie (CFS) en ptychografie. VSL neemt ook actief deel aan de ontwikkeling van innovatieve beeldvormingsmethoden op basis van engineering van de ruimtelijke vorm van licht in het klassieke en kwantumdomein.
Startdatum: 1 september 2021
Einddatum: 31 augustus 2024
Lees hier meer over dit project.
“Het project heeft financiering ontvangen van het European Partnership on Metrology, medegefinancierd door het Horizon Europe Research and Innovation Program van de Europese Unie en van de deelnemende staten.”
Heeft u vragen?
Onze experts staan voor u klaar.
Lauryna Siaudinyte
Principal Scientist Length – Optics
Projecten
Onze expertise in de praktijk
Bekijk onze andere projecten.