Grenzen verleggen van nanodimensionale metrologie door licht (20FUN02 POLight)
Projecten
Grenzen verleggen van nanodimensionale metrologie door licht (20FUN02 POLight)
Innovatieve apparaten, zoals nanochips, geheugens met hoge capaciteit, nieuwe materialen en toekomstige point-of-care-tools zijn allemaal afhankelijk van het vermogen om materie op nanoschaal vorm te geven. Daarom heeft de Europese Commissie vier Key Enabling Technology (KET’s, d.w.z. nanotechnologie, micro-nano-elektronica, fotonica en geavanceerde materialen) geïdentificeerd als strategisch belangrijk voor de Europese Unie (EU). De snelle technologische vooruitgang van deze vier KET’s creëert momenteel echter een “metrologiekloof” in vergelijking met de vooruitgang bij het ontwikkelen van metrologiemethoden, wat cruciaal is voor het valideren van de ontwikkeling van KET’s. Dit project pakt dit probleem aan door nieuwe methoden te ontwikkelen om de metrologiekloof te overbruggen en op zijn beurt KET-innovatie te bevorderen. Meer specifiek zal dit project de grenzen van optische meetmethoden verleggen door een nieuwe generatie optische metrologiesystemen te realiseren, met ongekende prestaties op het gebied van ruimtelijke resolutie, traceerbaarheid, betrouwbaarheid en robuustheid. Het algemene doel van dit project is om de grenzen van optische meetmethoden te verleggen door een nieuwe generatie optische metrologiesystemen te realiseren, met ongekende prestaties op het gebied van ruimtelijke resolutie, traceerbaarheid, betrouwbaarheid en robuustheid.
Onze rol
In dit project leidt VSL een werkpakket dat zich richt op Far-field optische nanometrologie binnen het Rayleigh-regime. Scatterometry-specialisten ontwikkelen nauwkeurige methoden voor het meten van nanostructuren met behulp van far-field-verlichting, far-field-detectie optische methoden, zoals optische scatterometrie met gestructureerde verlichting, coherente Fourier-scatterometrie (CFS) en ptychografie. VSL neemt ook actief deel aan de ontwikkeling van innovatieve beeldvormingsmethoden op basis van engineering van de ruimtelijke vorm van licht in het klassieke en kwantumdomein.
Startdatum: 1 september 2021
Einddatum: 31 augustus 2024
Lees hier meer over dit project.
“Het project heeft financiering ontvangen van het European Partnership on Metrology, medegefinancierd door het Horizon Europe Research and Innovation Program van de Europese Unie en van de deelnemende staten.”
Heeft u vragen?
Onze experts staan voor u klaar.
Lauryna Siaudinyte
Principal Scientist Length – Optics
Projecten
Onze expertise in de praktijk
Bekijk onze andere projecten.
Traceerbare machine vision-systemen voor digitale industriële toepassingen
MVS’en zijn van cruciaal belang voor veel hoogwaardige industrieën, waarin Europa wereldwijd concurrerend is, en voor de EU-doelstellingen op het gebied van digitale transformatie en van energietransitie.
Digitale metrologische tweelingen voor geavanceerde maakindustrie
Het ondersteunen van geavanceerde produktieprocessen met behulp van zogenaamde Digital Metrology Twins (D-MT’s), waarbij VSL vooral zal werken aan een digitale representatie van tactiele metingen op de CMM.
Virtuele experimenten en digitale tweelingen (ViDiT)
Virtuele experimenten en digitale tweelingen zijn sleuteltechnologieën om Europees strategisch beleid gericht op duurzaamheid en digitalisering te verwezenlijken en te realiseren binnen het complexe raamwerk van Industrie 4.0 en de Europese Green Deal.
Herleidbaarheid voor dosimetrie in röntgendiagnostistiek (TraMeXI)
De voornaamste doelen van het project zijn het voorstellen van nieuwe referentiestralingskwaliteiten in combinatie met classificatie van verschillende commercieel verkrijgbare dosimeters en x-ray multimaters (XMMs) wat zal leiden tot geharmoniseerde kalibratieprocedures XMMs en het realiseren van een traceerbaarheidsketen voor relevante klinische parameters, bijv: luchtkerma, practical peak voltage (PPV), current-time product (mAs), etc. Ter validatie zal een internationale vergelijking worden uitgevoerd.
Op weg naar een 8-digit digitizer (True8DIGIT)
Dit project richt zich op de ontwikkeling van een digitizer op basis van geavanceerde analoog-naar-digitaalomzetters (ADC’s), werkend van gelijkstroom (DC) tot 100 kHz, die voldoet aan de eisen voor lineariteit, ruis en algehele nauwkeurigheid.
Verplaatsbare optische klokken voor key comparisons (TOCK)
Het voorgestelde onderzoek zal een metrologische oplossing bieden om vergelijkingen mogelijk te maken van hoogwaardige klokken tussen alle Europese NMI’s, onderzoeksinstituten en serviceproviders die frequentienormen hanteren.
Metrologieondersteuning voor gebruik en opslag van koolstofafvang (MetCCUS)
Dit project zal zich richten op de ontwikkeling van de metrologische infrastructuur die nodig is voor het monitoren van CO2 die wordt geproduceerd en verloren gaat in een industrieel proces door de ontwikkeling van nieuwe traceerbare faciliteiten, waaronder primaire stroomstandaarden om kalibratie mogelijk te maken, evenals validatie van systemen die in staat zijn om CO2-lekken te kwantificeren van pijpleidingen, transport (bijv. scheepvaart) of opslaglocaties.
