VSL scatterometry facilities and activities

Nieuws

VSL scatterometry facilities and activities

Optische nanometrologie is een hot topic in de hightechindustrie. Toenemende eisen en dimensionale krimp zijn de beste drijfveren om optische meettechnieken te verbeteren en te ontwikkelen. Bekijk de onderstaande video en bekijk kort de optische scatterometrie die wordt gebruikt voor de parametrisering van nanostructuren.

Deze video is opgenomen op basis van het onderzoek dat is uitgevoerd in de projecten 20IND07 TracOptic, 20IND04 ATMOC en 20FUN02 POLight, die financiering hebben ontvangen uit het EMPIR-programma, medegefinancierd door de deelnemende staten, en uit het Horizon 2020 onderzoeks- en innovatieprogramma van de Europese Unie.