Grenzen verleggen van nanodimensionale metrologie door licht (20FUN02 POLight)

Digitalisering, Projecten

Dit project pakt dit probleem aan door nieuwe methoden te ontwikkelen om de metrologiekloof te overbruggen en op zijn beurt KET-innovatie te bevorderen. Meer specifiek zal dit project de grenzen van optische meetmethoden verleggen door een nieuwe generatie optische metrologiesystemen te realiseren, met ongekende prestaties op het gebied van ruimtelijke resolutie, traceerbaarheid, betrouwbaarheid en robuustheid.

Traceerbare metrologie van zachte röntgenstraling naar IR optische constanten en nanofilms voor geavanceerde fabricage (20IND04 ATMOC)

Digitalisering, Projecten

De optische en halfgeleiderindustrieën gebruiken innovatieve materialen en complexe nanostructuren in hun producten waarvan de optische eigenschappen moeilijk te meten en vaak niet nauwkeurig bekend zijn. Dit project ontwikkelt geavanceerde wiskundige methoden om deze materialen traceerbaar te karakteriseren voor golflengtebereiken van zachte röntgenstraling tot IR.